صمام غاز أخف وزناً فائق النقاء مقاس بوصة واحدة لمصانع أشباه الموصلات والمختبرات التحليلية بأسطح مصقولة كهربائياً ومراقبة الجسيمات

تم تصميمه بدقة للبيئات الحساسة للتلوثصمام غاز خفيف بوصة واحدةيضمن السلامة في أنظمة توزيع الغاز الحيوية. يحتوي على 316L-VAR الفولاذ المقاوم للصدأ مع < 0.5 Ra μmصمام غاز عالي النقاءيحقق معايير الجسيمات من الفئة 1 / ISO 2 للغازات العملية في أشباه الموصلات. تصميم الختم المخروطي المتماثل الذاتي يلغي الاتصال بين المعادن ، مما يمنع توليد الجسيمات خلال 100 دقيقة ،000+ تشغيلكشيء أساسيصمام غاز مختبر، فإنه يتضمن أغطية وجهية على طراز فيديو لتحقيق سلامة هليوم غير قابلة للتسرب إلى 1x10−9 atm-cc/sec He ، والحفاظ على نقاء مستوى ppb للغازات الخاصة مثل الأرسين والسيلان.تغطية جذع PTFE غير القابلة للتساقط وتكوين صفر قدم ميتة تلبي معايير SEMI F72يتضمن منافذ مراقبة الجسيمات المتكاملة للتحقق من الامتثال للطبقة 3 من ISO 14644-1 في الموقع أثناء التثبيت.

نقاط الرصاصة:
✓النظافة على نطاق نانوي: <5 جزيئات >0.1μm لكل لتر (في IEST RP CC001.6)
✓الختم الصلب: معدل تسرب الهيليوم 1x10-9 atm-cc/sec
✓مقاومة التآكل: السلبيات حسب طريقة ASTM A967 حمض النيتريك
✓تشغيل خال من الاهتزاز: تصميم الجذع المضاد للرنين
✓أثبتت الصنع: متوافق مع SEMI F72صمام غاز مختبر

سيناريو التطبيق:
في غرفة نظيفة للشرائح نصف الموصلة، يقوم الفنيون بتثبيت صمامات باستخدام عدادات الجسيمات للتحقق من عدم وجود تلوث أثناء تشغيل خط الغاز لتصنيع الرقائق 5 نانومتر.

الأسئلة الشائعة:

س: ما هو شهادة الجسيمات التي تأتي مع هذا صمام الغاز عالي النقاء؟
ج: تقارير IEST-CC0016 من الفئة 1 مع بيانات توزيع الجسيمات من 0.1-5.0μm.

س: هلصمامات غاز المختبراتمتوافق مع المواد المضادة السامة؟
ج: نعم، مصممة لغازات SEMI S2 من الفئة 1 مع توافق كامل للمواد.

س: هل يمكنني دمج مراقبة الجسيمات دون انقطاع العملية؟
الجواب: نعم، موانئ العينة تسمح بالتحقق في الموقع بما يتوافق مع معيار ISO 14644-1.

س: ما هو أداء إزالة الغازات؟
ج: < 1x10-9 g/cm2/sec TML/CVCM لكل NASA-STD-6001B.

س: هل تقدمون بروتوكولات مكافحة التلوث في المنشآت؟
ج: أدوات تركيب مفصلة متوافقة مع معيار ISO 14644-5 متاحة.